Vibex Từ Liêm có tổng diện tích đất nghiên cứu quy hoạch khu đô thị mới này khoảng 25,889 ha, bao gồm cả đường quy hoạch xung quanh ô đất A2/09 nằm trong khu vực Bắc Cổ Nhuế - Chèm ở phía tây bắc trung tâm Thủ đô.
Theo Sở Quy hoạch - Kiến trúc Hà Nội, ranh giới khu đô thị mới này được xác định phía bắc là đường quy hoạch bề rộng 40m, khu dân cư và cánh đồng xã Thụy Phương, các phía còn lại cũng đều tiếp giáp đường quy hoạch rộng từ 15,5-33m.
Để xây dựng khu đô thị này, Hà Nội phải điều chỉnh cục bộ Quy hoạch chi tiết ô đất A2/09 (kể trên) từ đất công nghiệp thành đất phát triển đô thị, nhằm kiến tạo một khu đô thị mới hiện đại và đồng bộ các công trình kiến trúc, hạ tầng và dịch vụ, gắn kết với Quy hoạch chi tiết 1/500 khu vực Bắc Cổ Nhuế - Chèm và các quy hoạch liên quan khác.